广皓天 MEMS 传感器冷热冲击试验箱采用三箱式伺服风门切换结构，样品静置放置，规避机械振动干扰。模拟车载、工业场景急剧温变工况，考核 MEMS 微结构、硅基芯片、封装及焊盘耐受热应力能力，筛查微结构断裂、信号漂移、封装脱层等失效现象，适配 MEMS 器件可靠性验证，支持试验条件定制。

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