SoC复层式恒温恒湿箱为80L桌面级芯片可靠性设备，上下双层独立腔体，同机跑双85湿热与-40℃温存。PID+SSR调功，PT100干湿球采样，温波动≤±0.5℃、湿波动≤±2%RH，覆盖JESD22-A101与AEC-Q100预处理，适合IC设计公司小批验证

SoC复层式恒温恒湿箱

1. 工作原理

2. 产品特点

• 复层小容积：80L 基准可拆 2 层×40L 独立腔，单层放 4 寸晶圆托盘或 10 块 SoC 评估板

• SoC 干净度：SUS316 防静电内胆+乙丙胶条+三层防霜视窗，顶部等温层防高湿滴露伤引脚

• 精控够用：-40~150℃、20~98%RH，波动≤±0.5℃/±2%RH，均匀≤2℃，满足 7nm 以外成熟制程

• 快启快停：升温 3~5℃/min、降温 1~1.2℃/min，小腔热惯性小，双85 千小时测试启停灵活

• 程序轻量：7in 威硕屏，100 组程式/万段，断电能续跑，USB 一键导曲线，预存 JESD22 双85 模板

• 桌面占地：外型约宽 0.6m 级，380V 或选 220V 定制，实验室边台直接放

3. 使用说明

1. 用蒸馏水/去离子水（电阻＞500Ω·m），小水箱 23L 提手式，屏幕显液位

2. 样品均布，单层承重≤10kg（80L 定制），距壁≥5cm，引线走 50mm 孔（可选 100mm）

3. 触屏建程式：25℃/50%→85℃/85%RH×168h→-40℃×4h，或 AEC-Q100 温循 A104 条件 G

4. 空载 15min 自校后再进样；小腔忌频繁开门，防蒸发器结冰

5. 测完缓速回常温取样；每月清一次加湿桶水垢，查胶条回弹

4. 售后服务

整机保 1 年，压缩机关键件保 3 年；含上门就位（80L 可快递+视频指导自装）、空载自校指引、首年远程校准；48h 响应，备件原厂发；免费送一段 20min 上机培训视频，可选年保清蒸发器/校传感器。

SoC复层式恒温恒湿箱